儀器名稱：FIB-SEM 三束系統(tǒng)

品牌:  日立

型號：NX系列（NX5000,2000,9000）

產(chǎn)地：日本

儀器介紹：

一.儀器特點：

1.配有Cut&See 功能，可實現(xiàn)邊加工邊觀察；

2. 采用低加速（Ar/Xe）離子束（Triple Beam System）,實現(xiàn)低損失加工，去除稼離子束加工產(chǎn)生的污染;

3. 可通過高電流密度FIB實現(xiàn)高通量加工。

二.主要用途：

利用離子束加工樣品截面，用于掃描電鏡樣品觀察；或者加工薄片樣品，用于透射電鏡樣品觀察。