儀器名稱：X 射線衍射系統(tǒng)

品牌:  布魯克

型號(hào)：D8 DISCOVER

產(chǎn)地：德國(guó)

儀器介紹：

1. 采用創(chuàng)造性的達(dá)芬奇設(shè)計(jì)，配備了集成化的DIFFRAC.SUITETM軟件，附件自動(dòng)識(shí)別、即插即用以及完全集成化的二維XRD2功能。

2. 高分辨XRD(HRXRD)，外延多層膜厚度，晶胞參數(shù)，應(yīng)變及弛豫過(guò)程。

3. X射線反射率(XRR)，薄膜厚度，組份，粗糙度，密度。

4. 倒易空間圖譜(RSM)，晶胞參數(shù)，晶格錯(cuò)配，組份，橫向結(jié)構(gòu)。

5. 面內(nèi)掠入射衍射 (in-plane GID)，掠入射小角X射線散射(GISAXS)，晶胞參數(shù)，晶格錯(cuò)配，物相組成，孔隙度。

6. 應(yīng)力和織構(gòu)分析，取向分布，取向定量，硬度。

7. 物相鑒定(Phase ID)，物相組成，晶格對(duì)稱性，晶粒大小。